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微米/纳米加工技术国家级重点实验室

  微米/纳米加工技术国家级重点实验室自2000年批准建立以来,紧紧围绕非硅三维微加工技术,开展非硅材料的微米/纳米加工技术的基础与应用基础及其创新工艺技术设计开发研究,突破了一系列关键技术,开发了一系列具有自主知识产权的非硅微米/纳米加工先进工艺技术,建立了面向多用户开放使用的先进的非硅的微米/纳米加工开放工艺规范,研制了一批关键MEMS器件。同时以低维纳米材料制备为基础,开展与其相关的加工工艺和应用基础技术研究,在碳纳米管的表面修饰、分离、双向电泳法和自组装法排布、纳米焊接、碳纳米管气体离化传感器机理、碳纳米管光伏电池等,在制备纳电子器件关键技术取得重要突破,发表了一批高水平的文章。

  实验室近十年来获得国家技术发明二等奖两项,国家自然科学二等奖一项,省部级奖励十多项。科研经费过亿元,发表文章一千多篇,其中高水平的SCI文章四百多篇,申请发明专利四百多项,其中授权发明专利近二百项。实验室目前有固定人员20人,其中教授9人,副教授4人,培养了五百多名硕士和博士研究生。重点实验室目前有关键设备20台套,价值1000万元以上,包括有溅射机、光刻机、RIE等MEMS关键设备。